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5nm制程将分为N5工艺以及加强版N5P工艺，N5工艺较同一时期量产的7nm N7工艺，速度提高15％，功耗降低30％，逻辑电晶体密度增1．8倍，良率也有所提高，N5P工艺则在N5工艺的基础上性能再次提升，预计明年量产。
5nm以下先进制程方面，4nm是建立在5nm平台上，把5nm效能与功耗进一步向前推进，4nm与5nm互相兼容，计划2021年第四季试产、2022年量产；3nm则将沿用FinFET制程，且为全新的节点技术，与5nm相比，速度增加10％至15％，功耗降25％至30％，逻辑电晶体密度增1．7倍，预计2022年下半年量产。
特殊制程方面，台积电还介绍了专为IoT、移动和边缘设备等低功耗设备而设计的N12e工艺，该工艺是台积电12 nm FinFET节点的增强版，拥有更低功耗、更高性能，支持超低漏电器件和低至0．4V的超低Vdd设计。
台积电的FinFEt太过强大，在 的3nm制程上也将继续沿用FinFET工艺，不过，三星这边的3nm则选择了GAA工艺路线。主流厂商包括三星、台积电、英特尔和中芯国际等都对GAA技术表示兴趣，或者已经开始试产。有了GAA工艺， 芯片的厮杀也将拉开序幕。
相较于第二大晶圆代工商三星5nm量产计划屡屡受挫、英特尔7nm芯片自产计划濒临流产，台积电的先进制程量产进度，可谓顺风顺水。
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